افزاره‌های میکرو و نانو
فعالیتهای این بخش در آزمایشگاه تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه نازک تحت سرپرستی دکتر عزیزالله بهرام گنجی انجام می‌گردد. این آزمایشگاه در مسیر ارتقای دانش فنی در زمینه میکرو و نانو الکترونیک و سیستمهای ریز ماشین کاریMEMS & NEMS فعالیت می‌نماید. این آزمایشگاه طی بررسی نیاز صنایع مختلف و اجرای طرح های تحقیقاتی و اجرایی می‌تواند بسیاری از فرایند های ساخت انواع ادوات پیشرفته مانند سنسور ها و ترانزیستورها را انجام دهد. هدف فعلی آزمایشگاه، مطالعه و بررسی سیستمها و قطعات الکترونیکی و مکانیکی MEMS & NEMS بر روی بستر ویفر سیلیکون در زمینه نانو الکترونیک ولایه گذاری می باشد. از کاربردهای این فرآیندها، می توان به سنسورهای بسیار حساس، موتورهای بسیار ریز و سیستمهای محرک (تولید کننده حرکت) در مقیاس میکرو و نانو اشاره کرد.